Filmetrics R54四探針電阻率測量儀是KLA薄膜電阻和導電率測繪系統，從半導體制造到實現可穿戴技術所需的柔性電子產品，薄膜電阻監控對于任何使用導電薄膜的行業都比較重要。R54在功能上針對金屬薄膜均勻性測繪、離子注入表征和退火特性、薄膜厚度和電阻率測量以及非接觸式薄膜厚度測量進行了優化。

型號：R54

更新日期：2023-08-22

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Filmetrics R50四探針電阻率測量儀系列提供接觸式四點探針（4PP）和非接觸式渦流（EC）測量。

型號：R50

更新日期：2023-08-22

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