R54四探針電阻率測量儀

薄膜電阻率測繪系統(tǒng)

Filmetrics R54是KLA薄膜電阻和導電率測繪系統(tǒng)，從半導體制造到實現(xiàn)可穿戴技術(shù)所需的柔性電子產(chǎn)品，薄膜電阻監(jiān)控對于任何使用導電薄膜的行業(yè)都比較重要。R54在功能上針對金屬薄膜均勻性測繪、離子注入表征和退火特性、薄膜厚度和電阻率測量以及非接觸式薄膜厚度測量進行了優(yōu)化。

系統(tǒng)優(yōu)勢

• 測試點自定義編輯,包括矩形、線性、極坐標以及自定義配置

• 可選配可容納300毫米圓形或A4（210mm*297mm）樣品

• 導體和半導體薄膜電阻，10個數(shù)量級范圍適用

• 接觸式四點探針(4PP)和非接觸式電渦流(EC)配置

• 封閉系統(tǒng)便于測量光敏或者環(huán)境敏感樣品

• 支持15mm 樣品高度

• 高精度 X-Y 平臺

應(yīng)用市場

• 半導體

• *進封裝

• 平板和VR顯示

• 穿戴設(shè)備

• 化合物半導體

• 太陽能

• 印刷電路

• 導電材料

RsMapper軟件:

測量自動化地圖模式生成器，內(nèi)置的地圖模式生成器使您輕松生成需要測量的斑點圖案樣品的相關(guān)區(qū)域，從而節(jié)省了數(shù)據(jù)采集期間的時間。

這只是您可以使用的一些參數(shù)。

進行調(diào)整以自定義地圖的屬性:

• 圓形或正方形地圖

• 徑向或矩形圖案

• 中心或邊緣排除

• 點密度