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HORIBA 研究級經典型橢偏儀簡介：
橢圓偏振光譜是一種無損無接觸的光學測量技術，基于測量線偏振光經過薄膜樣品反射后偏振狀態發生的改變，通過模型擬合后得到薄膜、界面和表面粗糙層的厚度以及光學性質等等，可測厚度范圍為幾埃至幾十微米。此外，還可以測試材料的反射率及透過率。
技術參數：
* 光譜范圍: 190-885 nm（可擴展至2100nm）
* 微光斑可選50μm-100μm-1mm
* 探測器：分別針對紫外，可見和近紅外提供優化的PMT和IGA探測器
* 自動樣品臺尺寸：多種樣品臺可選
* 自動量角器：變角范圍40° - 90°，全自動調整，小步長0.01°
主要特點：
* 50KHz 高頻PEM 相調制技術，測量光路中無運動部件
* 具備超薄膜所需的測量精度，超厚膜所需的高光譜分辨率
* 具有毫秒級超快動態采集模式，可用于在線實時監測
* 自動平臺樣品掃描成像、變溫臺、電化學反應池、液體池、密封池等多種附件
* 配置靈活
