3D光學(xué)輪廓儀的測(cè)量原理和主要功能

　　3D光學(xué)輪廓儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，典型結(jié)果包括：

　　1.表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺(tái)階高度，錐角等等）

　　2.幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和體積，特征圖形的位置和數(shù)量等等）

　　3D光學(xué)輪廓儀儀的光學(xué)系統(tǒng)基于無限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng)。通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)楣鈱W(xué)3D表面輪廓儀。

　　3D光學(xué)輪廓儀主要功能：

　　1、共聚焦

　　共聚焦技術(shù)可以用來測(cè)量各類樣品表面的形貌。它比光學(xué)顯微鏡有更高的橫向分辨率,可達(dá)0.10um。利用它可實(shí)現(xiàn)臨界尺寸的測(cè)量。當(dāng)用150倍、0.95數(shù)值孔徑的鏡頭時(shí)，共聚焦在光滑表面測(cè)量斜率達(dá)70°（粗糙表面達(dá)86°）。共聚焦算法Z軸測(cè)量重復(fù)性在納米范疇。

　　2、干涉

　　?相位差干涉 (PSI)

　　相位差干涉是一種亞納米級(jí)精度的用于測(cè)量光滑表面高度形貌的技術(shù)。它的優(yōu)勢(shì)在于任何放大倍數(shù)都可以亞納米級(jí)的縱向分辨率。使用2.5倍的鏡頭就能實(shí)現(xiàn)超高縱向分辨率的大視場(chǎng)測(cè)量。

　　白光干涉 (VSI)

　　白光干涉是一種納米級(jí)測(cè)量精度的用于測(cè)量各種表面高度形貌的技術(shù)。它的優(yōu)勢(shì)在于任何放大倍數(shù)都可以納米級(jí)的縱向分辨率。

　　3、多焦面疊加

　　多焦面疊加技術(shù)是用來測(cè)量非常粗糙的表面形貌。根據(jù)Sensofar在共聚焦和干涉技術(shù)融合應(yīng)用方面的豐富經(jīng)驗(yàn)，特別設(shè)計(jì)了此功能來補(bǔ)足低倍共聚焦測(cè)量的需要。該技術(shù)的大亮點(diǎn)是快速(mm/s)、掃描范圍大和支援斜率大（大86°）。此功能對(duì)工件和模具測(cè)量特別有用。

　　4、薄膜測(cè)量

　　用分光反射計(jì)可以完善地解決薄膜厚度測(cè)量。S neox 在增加了分光反射計(jì)后可以測(cè)量10nm的膜厚和多10層膜。由于是通過顯微鏡頭測(cè)量，小的測(cè)量點(diǎn)為5um。因?yàn)橄到y(tǒng)里有組合的LED光源，所以實(shí)時(shí)觀察和膜厚測(cè)量能同時(shí)進(jìn)行。

　　5、測(cè)量及分析軟件

　　SensoSCAN是一款簡(jiǎn)潔友好的操作軟件。它將用戶進(jìn)入3D的世界，提供*用戶體驗(yàn)。在軟件界面內(nèi)，用戶可以直觀明確地了解所用的測(cè)量方式，同時(shí)還能顯示和分析數(shù)據(jù)。

　　6、強(qiáng)大的分析軟件

　　增配SensoPRO LT 或SensoMAP軟件就能輕易實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量和分析。