臺階儀的類別與基本原理

今天主要講下，關于表面形貌的測量：

通常可分接觸式與非接觸式兩種，在各個應用領域中，這兩個方法具有互補性，并且各有不同，因此在實際應用以及選擇機器的時候，一定要根據具體情況而定，建議先咨詢相關的技術工程師。

本期主要說下接觸式表面形貌測量儀器：臺階儀

臺階儀根據使用傳感器的不同，接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。

基本工作原理如下：

當臺階儀的觸針在被測的物體表面輕輕滑過時，被接觸的物體表面微小的峰谷就會讓觸針在進行滑行的同時也做一些上下運動。因此表面輪廓的情況在一定程度上就被觸針的運動情況所體現出來。

以優尼康主推的KLA臺階儀D-Series & P-series為例，簡單看下：

觸針傳感器技術：高度分辨率低于0.1納米

光學杠桿傳感器: D-Series

電容傳感器 (LVDC): P-Series

所有KLA系列臺階儀探針均由金剛石制成，具有的可靠性

應用：

醫用支架臺階高度；藥庫深度
ITO薄膜臺階高度；20到200 nm臺階
太陽能電池
蝕刻工藝
LED氮化鎵外延缺陷檢測
太陽能板形貌
硅片減薄形貌
圓角測試