震動隔離系統-防振臺防震臺的使用

電鏡和其它精密儀器對環境震動要求很高，例如電鏡要求X、Y、Z方向的低頻震動（0~30Hz）＜6微米；30Hz以上的高頻震動＜12微米.。20Hz以下的低頻震動，對電鏡的干擾影響zui大。如果超過該指標，電鏡在高倍率（1萬倍以上）照相，就難于得到理想圖像。

普通掃描電子顯微鏡（SEM）當安置到樓房高層（2層以上），或置于有強震動的場地時（例如附近地下有地鐵，），高倍率3萬倍以上觀察、照相就無法進行。而必須使用震動隔離系統-防振臺。

場發射電鏡（FEM）要在幾十萬倍觀察和照相，對震動要求更高。即便安裝在一樓，也都不能滿足要求。一般都要求安裝防振臺。

當然，用于電鏡的防振臺更適于其它精密儀器。

瑞士Table Stable公司的AVI400型是世界上的防震臺。它為2個分離單元的隔振墊塊，安裝非常方便。

              瑞士Table Stable公司的AVI400型防振臺

2         原理

防振臺有2鐘：被動式和主動式的。

被動式的是采用橡膠、金屬彈簧、空氣彈簧等，20Hz以下的低頻震動減震效果很差，在0~20Hz 會增加SEM 的諧振，不被采用。

主動式的是采用3維探測器，檢測3維方向（X、Y、Z）傳來的外部震動，由PID(     )控制器產生等幅、反相的控制信號，再由執行機構產生等幅、反相的內部震動來抵消或減弱外部的震動干擾。現在，國外技術的防振臺都是主動式的，常用的有壓電陶瓷式、空氣式、電磁式、電動機式等。

3         選型

瑞士Table Stable公司的執行機構-隔振墊塊，是2個長條式的模塊，體積輕巧，體積小，安裝方便，價格適中，國內用戶較多。相比德國B公司、美國T公司的執行機構-隔振墊塊都是方形平臺式的，體積大，安裝不便，價格貴，且需要SEM的廠家現場協助。

4         實用效果

客戶的EVO MA 25 SEM安裝在3樓，1萬倍以上照相無法進行。2012年12至今，使用瑞士的AVI-400型防震臺，了電鏡的正常使用，10～20萬倍照相，也可以得到滿意圖像.